一、設備配置圖示: (因為客制化設備僅以設計圖示)

PS 如有升級更新時尺寸會有所變更

二、電控模組箱內含:

人機介面電控模組 / 超低溫冷凝系統 / 真空抽氣模組 / 加熱模組 / 氣化裂解供應系統

三、超低溫冷凝系統規格 :

規格尺寸
冷凍溫度範圍	≧- 80°C
機台尺寸(寬度*深度*高度)	384x695x780mm
電源需求	AC 220V 50/60 Hz
感測器型式	T-type
環境溫度範圍	20~30 °C
冷媒	一段R507
	二段R-23 R-290
壓縮機規格 Ø530	1phase,1HP 50/60 Hz
機台淨重	≧100 kgs

四、硬體規格：

No.	項目	規格
1	腔體模組	I. Function A. 提供一真空環境(直徑700長度900mm) 腔體鍍膜空間。 B. 腔體需設計一腔門，側開式以提供載具置入及移出腔體之功能。 C. 腔體內部包含氣體分子導流管。 II. Specs A. 主腔體材質為不銹鋼(SUS 304)，側蓋使用鋁合金。 B. 腔體外部尺寸：直徑600mm 高度700mm C. 腔體設有觀測窗。
2	旋轉平臺	I. Function A. 提供承載載具 B. 可控制轉速，提供鍍膜制程需求 II. Specs A. 旋轉平臺架構：馬達與減速機 B. 可承載重量：Max.50公斤 C. 旋轉速度：0.5至10 Rpm
3	機架模組	I. Function A. 提供電控系統以及加熱系統支撐與避免人員直接觸碰到機電與加熱系統 B. 提供腔體支撐 C. 提供旋轉平臺架構：馬達與減速機支撐 II. Specs A. 機構金屬鋼板+表面烤漆 B. 機構底部(4支旋轉可調整式支撐架) C. 設備對外排風扇 D. 加熱系統保護保溫 E. 外機構可支撐重量:1000kg
4	真空系統	I. Function A. 將腔體內空氣排出，達可進行鍍膜制程之真空度 B. 油式真空機 II. Specs A. 抽氣速度:1500L/min B. 終極壓力:≦5X10-3Torr
5	蒸發系統	I. Function A. 提供材料氣化以及裂解 B. 防止管路沉積分子 II. Specs A. 裂解爐加熱包(表面金屬材質為不銹鋼) B. 加熱包(表面金屬材質為不銹鋼)
6	控制箱	I. Function A. 裝載控制元件與電控配線盤面 B. 提供顯示機台供人員操作運轉狀態 II. Specs A. 控制箱外觀以烤漆處理 B. 具移動腳輪與可調整橡膠腳墊
7	System Control Software	I. Function A. 採用具有PID功能之溫控模組 B. 採用高精度溫度sensor (J/K type、) C. 提供Maintain manual II. Specs A. 系統可進行半自動(溫控/真空)操作 B. 可配合制程需求，儲存與選擇Recipe (8組) C. Alarm顯示與急停裝置 D. 提供系統操作手冊

伍、一般仕樣：

No.	項目	規格
1	鍍膜區空間	● 請參考腔體鍍膜空間
2	鍍膜區空間	● ≧30mm(也可以自行拆卸依據需求調整空間，或是成一平臺使用)
3	使用原料	● Parylene-C    Parylene-N    Parylene-AF4    Parylene-D
4	操作溫度	● Sublimation CH2 Temp. = 80oC ~ 150oC ● Sublimation CH1 Temp. =160 oC ● Pyrolysis Temp = 650 ~750oC ● Sensor Temp. = 120 oC
5	操作壓力	● 15mtorr ~ 30mtorr
6	沉積時間	Parylene-C 1g≦ 1~5 min    Parylene-N 1g≦2~8min    (依投粉量種類、多寡與升溫Recipe而有不同)
7	鍍膜厚度	● 1μm ±10%
8	鍍膜面積	● 整個腔體
9	Tact-Time	● (依投粉量種類、多寡與升溫Recipe而有不同)
10	操作環境	● 建議使用潔淨室等級以上之環境 ● 環境溫度控制在22 oC ~ 25 oC ● 環境相對濕度控制在40% ~ 45% ● 無防震需求
11	Uptime	＞85%

六、檔案規格

1. 提供機台相關之軟體、硬體及檔(包括檢驗結果、校正記錄、操作及維護保養手冊)
2. 操作及維護保養手冊內容包含標準操作程式、簡易故障排除、與機器圖等，機器圖必須明確標示水、電、氣的開關與閥門之位置
3. 驗收時交付相同內容之操作手冊及維護保養手冊一份與中文電子檔一份

七、安裝規格

1. 建議安裝于符合潔淨室以上之操作環境等級
2. 提供機台設計(包含水、電、氣管路規格及圖示,機台外觀圖,機台尺寸圖,機台架構圖等)及工程進度規劃定案
3. 提供二次側之水、電、氣設施之配線及配置工程以符合系統之需求
4. 提供安裝程式、圖樣尺寸、水、電氣管路及相關物料供應要求，如下所示：
   (a) 機台建議安裝在潔淨室以上操作環境，室溫22-25℃，相對濕度40-45 %
   (b) 電壓規格3Ø 50/60 Hz及380 V
   (c) 依客戶使用需求,可選用大氣、潔淨氣體或N2 (N2  4 Kg/cm2)以進行破真空

八、訓練項目

1. 提供機台介紹與實作相關資料
2. 裝機完成後指派工程師至User端進行訓練課程，訓練課程包括設備結構及原理、系統安裝(包括所有軟體安裝程式)、故障排除、定期防護性保養、校正方式、制程操作程式、設備維護保養等

九、保固期

1. 由驗收完成日開始算起，提供為期一年之保固期間
2. 在正常操作下，於保固期間內維修保養之零件修護、更換及人力需求，提供免費(O-ring及保險絲等需酌收材料費用)處理
3. 於保固期間內軟體控制系統若有任何bug，免費提供升級或更新
4. 元件/耗材須急單購買，交貨時間須少於30個工作天，期貨則不在此限制