PSL 超低溫冷凍式 Cold Trap

極致 -120°C 冷凝效率｜專為高真空製程而生

在高真空鍍膜與精密 CVD 製程中，穩定而高效的氣體捕捉能力，是確保製程品質與
設備壽命的關鍵。

PSL 超低溫冷凍式 Cold Trap 採用高效能多段式超低溫冷凍系統，可達 -120°C 極低溫冷
凝能力，有效捕捉水氣、有機蒸氣及各類揮發性副產物，大幅提升真空穩定度，降低泵浦污染風險，延長設備使用壽命。

產品核心優勢
✅-120°C 超低溫穩定控制
  高效率冷凍壓縮系統，快速降溫，低溫維持穩定，適用高負載真空製程。
✅提升真空品質與抽氣效率
  有效減少水氣與揮發物回流，縮短抽真空時間，提高製程重現性。
✅保護高真空幫浦系統
  降低油氣污染與化學侵蝕，延長渦輪泵、擴散泵與乾式泵浦壽命。
✅智慧數位溫控顯示
  即時溫度監控，精準控制冷凝效能，操作簡便。
✅專為 Parylene / CVD / 真空鍍膜設計
  特別適用於高分子鍍膜、有機材料裂解製程及高揮發物環境。

適用產業
• Parylene 真空鍍膜系統
• 半導體與 MEMS 製程
• 精密電子封裝
• 太陽能與新材料研發
• 實驗室高真空應用

Taiwan Innova Efficiency Inc. 長期專注於高精密真空鍍膜與 CVD 系統整合。
我們深知，在高階製程中，冷凝效率直接影響：
• 真空穩定度
• 製程重現性
• 幫浦壽命
• 系統維護成本

PSL Cold Trap 不只是超低溫冷凍設備，而是整個真空系統的「穩定核心」。

PSL 超低溫冷凍機 Cold Trap，為您的真空系統提供更穩定、更潔淨、更長效的運轉保障。

如需客製化規格（冷凝面積、流量匹配、管徑接口），歡迎與我們聯繫。